曝光光源方面，从 1960 年代初到 1980 年代中期，汞灯已用于光刻，其光谱线分别为 436ng 线、405nh 线和 365ni 线。然而，随着半导体行业对更高分辨率集成度更高和速度更快的芯片和更高产量更低成本的需求，基于汞灯光源的光刻工具已不再能够满足半导体业界的高端要求。
1982 年，ib 的 kanti ja 开创性的提出了“excir ser lithography准分子激光光刻”，并进行了演示，现在准分子激光光刻机器步进和扫描仪在全球集成电路生产中得到广泛使用。在在发展的 30 年中，准分子激光光刻技术一直是摩尔定律持续推进的关键因素。使得芯片制造中的最小特征尺寸31从 1990 年的 500n 推进至 2016 年 10n，再到8102年的台积电和三星实现量产的 7n 产品。
这其中，汞灯的436ng 线、405nh 线和 365ni 线，准分子激光248n都指的是光刻机用来光刻的曝光光源。
1971年tel 公司推出的10微米全球第一款4004微处理器，再到1980年2微米工艺的256kb dra，1984年1微米工艺的1b dra，再到1991年此时即将问世的035微米工艺的64b dra 10微米到035微米，指的是通过光刻机光刻等工艺，在芯片内部中，晶体管之间或者线最小可以做到的距离。
微米和纳米的概念，到底有多宽或者多细，大家可以体会一下：
1毫米等于1000微米μ，一微米等于1000纳米n。
而成年男性的头发直径一般在40到80微米之间，女性的头发直径则一般在20微米到40微米之间，小孩子的头发则是40微米左右。
也就是说，此时工艺为1微米的芯片中，晶体管的线宽大概是小孩头发直径的140；换而言之，直径40微米的头发横切之后的面积上，按照1微米的工艺光刻，可以光刻2030个晶体管
而光刻工艺越好，工艺制程越小，芯片集成度越高，性能越好，功耗越低。
所以，电子产品不断追求卓越性能的背后，是芯片的处理能力的不断上升而反应到芯片生产厂家和芯片制造设备上，就是对芯片制程工艺的不断缩小和光刻机等设备光刻特征尺寸的不断缩小。
所以，余子贤一心一想要al可以制造出08微米工艺制程芯片的pas5000光刻机，最次也要拿到12微米的pas2300光刻机。甚至不惜，给al制造一些紧张气息，透露pas5500扫描式步进光刻机的相关信息
“你怎么知道我们pas5500型光刻机即将上世的”里托斯基维先生站了起来，怼着余子贤的脸，严肃的问道
“里托斯基维先生，我们的合作的可能已经消失了所以，很抱歉，我不可能告诉你原因的”
“不不余先生，一切皆有可能”
“走吧”余子贤直接带头站了起来，带着其他几个人向外走去
余子贤就这样走出去，虽然更多的是想给al一些压力，让他们退让，愿意以合理价格出售自己想要的光刻机就算是1微米的pas2500出售有困难，但是如果al可以无偿将15微米的pas2300升级到12微米，倒也不是不可以接受。
里托斯基维一看余子贤直接到这人走了，也是有点急了，再次大声喊道：“余先生，你等一等，我立即向总部申请”
牵扯到pas5500光刻机的上市，他不得不慎重。更何况，在他看来，香积电确实是pas2300光刻机非常合适的买主
目前，湾岛的苔积电和联华电厂房建设早已经结束，而前两年的苔积电，代工商业模式不被认可，订单稀少。经过这两年的发展，湾岛半导体行业才实现起步，开始逐步盈利。刚完成投资的苔积电，在短时间内很难继续再建设新生产线。
关键是随着pas5500的上市，上市于85年pas2300系列光刻机，处于即将被主流市场淘汰的边缘。
湾岛找不到买家，那么在尼康垄断的曰本和韩国市场，更不可能找到买家。难道真要运回去
这些精密仪器，想要完好的运送回去，绕地球大半圈，从湾岛到芬兰，运费都在20万起步
而一直放着也不是回事啊，既要给苔积电交场地租用费，还面临时间的推移和技术发展，这两台pas2300光刻机不断贬值的危险
可是想要满足香积电余子贤的要求，就需要对pas2300光刻机进行升级，而且费用不小。一台50万美元的升级费用，如果算上人工材料等等费用没多要多少
“首席，如果现在不乘机将这两台pas2300卖出去的话，就不是赚多少的问题了，而是要亏损多少的问题”
站在里斯托基维里旁边的办事处销售代表阿莱克西斯吕蒂aleksisryti忽然提醒道。
“”从犹豫中抬起头的里斯托基维却再没有看到余子贤他们的身影跑到窗子跟前，看到是已经出了办公大楼余子贤他们的背影。
“哎，阿莱克西斯”，先给总部打电话吧，将这里的情况全部告诉他们，然后做进一步请示”
“是的，里托斯首席。”阿莱克西斯低声说道。
而回到酒店的余子贤，正在召集大家集思广益。
“老板，我的工作没有做好，具体情况了解不到位”佟若愚站了起来，首先自责并检讨道。
“佟总，您不必自责，这一次的谈判失败并不代表我们最终会失败，而且这一次，主要原因是我改变主意了。根据目前的技术发展，我们已经15微米工艺制程的设备，等我们大半年满产之后，主流工艺已经接近05微米了，会又落后一代。所以我想争取1微米的工艺，最不行12微米的工艺制程要保证”
余子贤叹息了一口气，又说道：“只是没想到升级费用要50万，要价太狠想买他们1微米pas2500的光刻机，他们又不卖”
“不过，等着吧，他们有可能还会上门来找我们的”余子贤对于自己最后留下的诱饵有一半把握。
“鹿岛叔，结合你在nec的经验，你先说说你的看法吧”之前，鹿岛智树没怎么多说话。