曝光光源方面，從 1960 年代初到 1980 年代中期，汞燈已用於光刻，其光譜線分別爲 436ng 線、405nh 線和 365ni 線。然而，隨着半導體行業對更高分辨率集成度更高和速度更快的芯片和更高產量更低成本的需求，基於汞燈光源的光刻工具已不再能夠滿足半導體業界的高端要求。
1982 年，ib 的 kanti ja 開創性的提出了“excir ser lithography準分子激光光刻”，並進行了演示，現在準分子激光光刻機器步進和掃描儀在全球集成電路生產中得到廣泛使用。在在發展的 30 年中，準分子激光光刻技術一直是摩爾定律持續推進的關鍵因素。使得芯片製造中的最小特徵尺寸31從 1990 年的 500n 推進至 2016 年 10n，再到8102年的臺積電和三星實現量產的 7n 產品。
這其中，汞燈的436ng 線、405nh 線和 365ni 線，準分子激光248n都指的是光刻機用來光刻的曝光光源。
1971年tel 公司推出的10微米全球第一款4004微處理器，再到1980年2微米工藝的256kb dra，1984年1微米工藝的1b dra，再到1991年此時即將問世的035微米工藝的64b dra 10微米到035微米，指的是通過光刻機光刻等工藝，在芯片內部中，晶體管之間或者線最小可以做到的距離。
微米和納米的概念，到底有多寬或者多細，大家可以體會一下：
1毫米等於1000微米μ，一微米等於1000納米n。
而成年男性的頭髮直徑一般在40到80微米之間，女性的頭髮直徑則一般在20微米到40微米之間，小孩子的頭髮則是40微米左右。
也就是說，此時工藝爲1微米的芯片中，晶體管的線寬大概是小孩頭髮直徑的140；換而言之，直徑40微米的頭髮橫切之後的面積上，按照1微米的工藝光刻，可以光刻2030個晶體管
而光刻工藝越好，工藝製程越小，芯片集成度越高，性能越好，功耗越低。
所以，電子產品不斷追求卓越性能的背後，是芯片的處理能力的不斷上升而反應到芯片生產廠家和芯片製造設備上，就是對芯片製程工藝的不斷縮小和光刻機等設備光刻特徵尺寸的不斷縮小。
所以，餘子賢一心一想要al可以製造出08微米工藝製程芯片的pas5000光刻機，最次也要拿到12微米的pas2300光刻機。甚至不惜，給al製造一些緊張氣息，透露pas5500掃描式步進光刻機的相關信息
“你怎麼知道我們pas5500型光刻機即將上世的”裏託斯基維先生站了起來，懟着餘子賢的臉，嚴肅的問道
“裏託斯基維先生，我們的合作的可能已經消失了所以，很抱歉，我不可能告訴你原因的”
“不不餘先生，一切皆有可能”
“走吧”餘子賢直接帶頭站了起來，帶着其他幾個人向外走去
餘子賢就這樣走出去，雖然更多的是想給al一些壓力，讓他們退讓，願意以合理價格出售自己想要的光刻機就算是1微米的pas2500出售有困難，但是如果al可以無償將15微米的pas2300升級到12微米，倒也不是不可以接受。
裏託斯基維一看餘子賢直接到這人走了，也是有點急了，再次大聲喊道：“餘先生，你等一等，我立即向總部申請”
牽扯到pas5500光刻機的上市，他不得不慎重。更何況，在他看來，香積電確實是pas2300光刻機非常合適的買主
目前，灣島的苔積電和聯華電廠房建設早已經結束，而前兩年的苔積電，代工商業模式不被認可，訂單稀少。經過這兩年的發展，灣島半導體行業才實現起步，開始逐步盈利。剛完成投資的苔積電，在短時間內很難繼續再建設新生產線。
關鍵是隨着pas5500的上市，上市於85年pas2300系列光刻機，處於即將被主流市場淘汰的邊緣。
灣島找不到買家，那麼在尼康壟斷的曰本和韓國市場，更不可能找到買家。難道真要運回去
這些精密儀器，想要完好的運送回去，繞地球大半圈，從灣島到芬蘭，運費都在20萬起步
而一直放着也不是回事啊，既要給苔積電交場地租用費，還面臨時間的推移和技術發展，這兩臺pas2300光刻機不斷貶值的危險
可是想要滿足香積電餘子賢的要求，就需要對pas2300光刻機進行升級，而且費用不小。一臺50萬美元的升級費用，如果算上人工材料等等費用沒多要多少
“首席，如果現在不乘機將這兩臺pas2300賣出去的話，就不是賺多少的問題了，而是要虧損多少的問題”
站在里斯託基維裏旁邊的辦事處銷售代表阿萊克西斯呂蒂aleksisryti忽然提醒道。
“”從猶豫中擡起頭的里斯託基維卻再沒有看到餘子賢他們的身影跑到窗子跟前，看到是已經出了辦公大樓餘子賢他們的背影。
“哎，阿萊克西斯”，先給總部打電話吧，將這裏的情況全部告訴他們，然後做進一步請示”
“是的，裏託斯首席。”阿萊克西斯低聲說道。
而回到酒店的餘子賢，正在召集大家集思廣益。
“老闆，我的工作沒有做好，具體情況瞭解不到位”佟若愚站了起來，首先自責並檢討道。
“佟總，您不必自責，這一次的談判失敗並不代表我們最終會失敗，而且這一次，主要原因是我改變主意了。根據目前的技術發展，我們已經15微米工藝製程的設備，等我們大半年滿產之後，主流工藝已經接近05微米了，會又落後一代。所以我想爭取1微米的工藝，最不行12微米的工藝製程要保證”
餘子賢嘆息了一口氣，又說道：“只是沒想到升級費用要50萬，要價太狠想買他們1微米pas2500的光刻機，他們又不賣”
“不過，等着吧，他們有可能還會上門來找我們的”餘子賢對於自己最後留下的誘餌有一半把握。
“鹿島叔，結合你在nec的經驗，你先說說你的看法吧”之前，鹿島智樹沒怎麼多說話。