古川太智說道:“就在剛剛,神州科學院宣佈,他們已經突破了極紫外光刻膠生產技術,將開始大規模製造和生產高端光刻膠!”
“什麼?”幾大集團的代表猛的站了起來,“這可不是能開玩笑的事情!”
“我沒有開玩笑!”古川太智說道,“神州的幾家光刻膠企業宣佈,已經獲得技術授權,立刻建造廠房,開始生產!”
衆人見他語氣焦急,不像是說假話,立刻查詢資料。
很快,他們便看到了新聞消息。
“確認消息是真實的嗎?”東京應化集團的代表打電話詢問集團神州區域的總裁。
“是真實的,我們已經派人接觸了,他們還專門展示了樣品和相關數據!”對方回覆道。
“怎麼會這麼快?”會場裏,這些櫻花光刻膠企業的代表們面面相覷,他們停貨才一個月時間吧?
一個月,他們的技術優勢,產品壟斷,就沒了?
就連青木大貴也懵了,要真是這樣,他們豈不是搬起石頭砸了自己的腳?
他們剛剛退出神州市場,神州就有了自己的高端光刻膠,這不是白白把市場份額給讓出去嗎?世界上還有這麼蠢的事情?
“八嘎!”jsr的代表怒罵道,“這可是一年百億美金的市場,就因爲愚蠢的協議,拱手讓人了?”
青木大貴也不敢隨便說話,這些跨國集團的能量也不小,他只能心虛的說道:“也許他們早就突破了這個技術,現在才公佈而已。”
“不!”古川太智憤怒道,“這完全是你們的愚蠢協議導致的!”
“我得到消息,就因爲這件事,神州調集了全國的專家,聯合了上萬家企業一起研發,所以進度才這麼快!正常情況下,他們絕不可能這麼快突破極紫外光刻膠技術!”
聽到古川太智的話,其他代表紛紛對青木大貴怒目而視。他們用了幾十年的時候,和燈國的企業競爭,好不容易奠定了光刻膠國際龍頭的地位,沒想到一個月之內,就被人趕超!
這一切,都是那什麼“全面合作”協議導致的!
“青木君,我們需要一個解釋!”jsr的代表說道。
“我們的損失,是櫻花國的管理者造成的!他必須拿出解決方案!”東京應化的代表說道。
“我們集團會發出抗議書的!”富士膠片的代表冷聲說道,他們說的抗議,不是讓員工上街抗議,而是在更高層級的級別博弈。
這些大資本和櫻花島管理方有着千絲萬縷的聯繫,青木大貴背後冷汗直冒,他知道,自己這一派,已經得罪了一個大資本集團!
到時候,肯定要有人背鍋,平息他們的怒火,自己很可能成爲背鍋俠!
“爲什麼,這才一個月啊!”青木大貴心裏在吶喊,這個技術突破再晚幾個月,神州一定會讓步的,可爲什麼會這麼快?
……
極紫外光刻膠的突破,代表了光刻機和芯片製造最關鍵的材料問題已經解決。
同時,盧建業的團隊已經打磨出了極紫外光刻機所需要的“鏡頭”。這玩意在以前,也是花錢都買不到的產品之一,只有漢斯的蔡司公司才能製造,而現在,神州已經能自己製造了。
其他的高端零部件,也在同步製造中。
現在距離極紫外光刻機制造,以及3納米制程芯片的生產,只剩下最後一個問題極紫外光刀!
何星舟來到了光電研究所,跟嚴蕊院士的團隊一起研究。
激光研究室裏,嚴蕊正在講述他們遇到的問題:“我們現在是採用氣體噴射的方式用激光轟擊靶材料產生等離子體,等離子體發euv輻射,euv輻射經過由週期性多層薄膜反射鏡組成的聚焦系統入射到反射掩模上射出的euv光波再通過反射鏡組成的投影系統,將反射掩模上的集成電路的幾何圖形成像到硅片上的光刻膠中,從而形成集成電路所需要的光刻圖形。”
“理論上,這個過程沒有問題。”何星舟點點頭。
“但問題在於如何在提高euv光源瓦數的同時,降低等離子氣氛中微粒、高速粒子和其它污染物。”嚴蕊頭疼道,“不然光源就會迅速惡化。還有,極紫外投影光刻系統使用了反射式掩模。”
“我們的euv掩膜缺陷仍高達ldefectcm2,檢測機臺的製造水平也要得到進一步提升。”
“檢測機臺的問題,我想盧教授那邊的團隊應該能解決。”何星舟說道,“至於極紫外光源的問題,我想到了一個解決方案。”
“什麼方案?”這羣院士和專家們都看着他。
何星舟說道:“光源瓦數的提升,可以用電能!”
“在高功率激光加熱負載體形成等離子體並且多次反射後,形成了極紫外光源,這個時候,再設計一個放電反應室,讓等離子體進一步轉化,輻射出亮度更高,更純淨的極紫外線,如果還有多層反射鏡,evu的納米刻度會進一步提升,就有可能滿足3納米制程的要求!”
其實這就是解決方案,只不過何星舟說的委婉了一點。
“這樣做我們也設想過!”嚴蕊似乎有點想法了,她問道:“這個電能反應室……”
“我有設計圖!”何星舟說道。
“真的?!”衆人聽到他這麼說,精神爲之一振,趕緊說道:“讓我們看看!”
“去會議室!”何星舟笑道。
衆人一起前往會議室,何星舟呼喚鹿米,讓她打開設計圖紙,並且進行講解。
當他講完,全場鴉雀無聲。每個人都在思考和計算。
足足過了十分鐘,嚴蕊第一個站起來,滿心歡喜的說道:“可以!我初步計算,這個方案完全有可能做到我們要求的高亮度極紫外光源!”
“對,我的看法也是一樣!”有一位老院士站起來,他興奮道:“這個放電反應室,真是神來之筆!光源折射損耗後,電能將等離子轉化,形成新的高能等離子體,不僅沒有光污染,還讓極紫外線的純淨度進一步提升,這樣做出來的光刀,只怕能達到世界之最!”
“何總工,你真是個天才,這樣的方案也能想到!”
“那還等什麼,我們趕緊去試試吧!”專家們都忍不住了。
“這就開始!”何星舟笑道,他知道,這次嘗試必定成功!這可是自己解鎖光刻機技術後,思考和計算了一個多月,才完成的設計!