康耀祥毫不怯場，站在無塵車間的走廊裏，隔着牆玻璃指着廠房裏的光刻機道：“作爲試驗線，1.5微米還是保守了。
現在成都光機所已經拿出了0.8微米分步重複投影光刻機，今年1月份以工藝流片成功率80%以上的好成績通過了國家驗收，目前正在北都微電子中心進行設備的安裝調試。
按照計劃，他們打算今年年底之前，大概11月12月的樣子，就可以開始進行國產設備的‘0.8微米CMOS全套工藝’的工藝考覈，預計半年之內可以見分曉。
到時候咱們國家就算是正式擁有了屬於自己的0.8微米制程全套生產設備和製造工藝了！我看這次考覈一定能通過！原因很簡單，目前0.8微米制程工藝已經在微電子所實現了高良品率的實驗通過，而且這段時間經過908華晶工程的檢驗，完全可以滿足高良品率的生產製造任務！
華晶廠目前以0.8微米制程工藝生產我們重光的CMP1J1芯片，良品率已經超過了70%，並且還把一微米制程的遊影霸王芯片成功移植到了0.8微米制程上，達到了60%以上的良品率。
所以樂觀地說，我國目前基本上是已經掌握了了0.8微米制程工藝和設備製造的自主技術，唯獨欠缺的是0.8微米制程下的IC設計能力，這方面國內也只有我們重光一家有着深厚的功底和成功經驗，畢竟目前可供使用的試驗線實在太少了，屈指可數的那幾家IC設計單位，也都沒有很強的工藝儲備，研發經驗比起國外公司差的太多。
我們重光要保持領先優勢，就必須繼續在新工藝上持續研發，不能滿足於0.8微米制程的設計，還要爲將來的0.35微米制程工藝儲備技術和試驗參數。
所以胡總和我商量之後，決定把你們214所這條線進行技術改進，打算向中科院光電技術研究所也就是成都光機所下訂單，與北都微電子中心同步安裝他們的0.8-1微米分步重複投影光刻機。”
顧所長聞言讚道：“我知道你們重光公司是國內唯一一家有0.8微米集成電路設計技術的企業，你們能把所裏的這個晶圓廠提升到什麼程度，我們也很好奇啊，你們打算怎麼搞，能說說嘛？呵呵呵，要是方便的話。”
214所的工程師們也都點頭，很想知道重光打算怎麼改造這條線路。
胡一亭見在場的都是工程師，於是便坦誠相告道：“我們打算從長春光機所訂一套高參數標準的物鏡，縮小倍率大約是八倍到十倍，用來替換成都光機所這款光刻機上的五倍物鏡。
當然這個花費很大，不過目前我已經有了新物鏡的初步設計方案，等我把設計思路大體搞出來以後，就派人去和長光所談，不管多少錢，總要不惜代價的把東西做出來。
當然，換了物鏡之後，良品率肯定是不能保證了，但既然是試驗線路，也不在乎這個問題。
另外提升製程的辦法還有很多，比如控制光刻膠的厚度，或者用流明度更高的進口膠代替國產膠，再比如設計更精準的步進電機以改善套刻精度，或者乾脆縮小像場尺寸，等等等等，手段五花八門，反正這裏大家都是內行，應該對這些都不陌生吧。”
“哈哈哈……”
此言一出，車間走廊裏立刻響起了一片善意的笑聲。
胡一亭笑道：“我是天才嘛，這一點江水書記都承認，你們還信不過我嗎？我解的龐加萊猜想你們看過嗎？覺得怎麼樣？”
有工程師道：“胡總工你好，我叫奚龍山，我看過你的龐加萊猜想，不過看了一半就看不懂了，很慚愧啊，但我相信你是天才，真的！你很了不起！”
胡一亭問：“奚工你留不留下？”
奚龍山道：“我本來是想去廬州的，畢竟是省會大城市嘛，但看了你的《龐加萊猜想暨幾何化猜想的完全證明》之後，我還是挺心動的，覺得你們重光是有很強的核心技術的，畢竟你們設計的幾款芯片和程控機名氣現在都很大，所以我主動申請留下來了。”
胡一亭和康耀祥幾乎同時道：“歡迎你加入重光！”
奚龍山彷彿要考考胡一亭和康耀祥，問道：“胡總工，康總工，我們這套光刻機也是成光所的，自從把線寬從3微米調整到了1.5微米之後，透鏡的發熱問題就很嚴重了，你們將來要把五倍物鏡換成8到10倍，那你們打算怎麼解決曝光能量的發熱問題，發熱後引起鏡頭變形和偏焦，長時
間這麼幹，那可要把設備毀了的。”
聽到奚龍山發難，立刻有同事也參與進來：“胡工康工你們好，我叫王選玉，也是214所的高級工程師，我想請問你們有什麼辦法解決光刻膠引起的顯影缺陷嗎？目前國內工藝裏的光刻膠清洗中，殘膠問題很突出，導致下一工序中的重複投影出現圖形失效的問題很突出，你們的實驗線有沒有打算對這一問題進行改進？”
顧峽生一看這陣仗嚇了一跳，心說這不是爲難人家嘛，這個胡一亭數學水平再高，也對付不了你們這羣術業有專攻的高工啊！高級工程師可是副教授級別，研究員級高級工程師是正教授級別。好傢伙，這一羣人裏倒有一半是正教授，剩下一半副教授，你們一人問一個問題，這胡總就是有三頭六臂也答不上來吧！他雖然是世界級數學天才，有精通IC設計，但怎麼說也不可能對工藝製程瞭解的像你們這麼深啊！
“大家都別爲難胡總和康總了，這些技術問題是所有晶圓廠的通病，你們這樣問，讓康總和胡總怎麼回答嘛！”
康耀祥也訕訕地笑着，心說這還真不好回答，畢竟每個廠都有自己的工藝，解決問題的辦法各不相同，真要籠統的回答，未免要被大家瞧不起，但若不結合具體問題來談，那這個問題就沒了邊際，說道明天早上也說不完啊。
正當康耀祥猶豫着怎麼說才合適的時候，胡一亭卻很認真地開了口。
“這有什麼難的，光刻機鏡頭是個大型組合鏡頭，光是鏡片就有十幾二十片，套筒一個接一個，想要完全避免幾何畸變是不可能的，這個問題無論哪家光刻機廠商都有。
作爲照明源的高壓汞燈能量很高，曝光時的快門速度只有零點幾秒，自然是會導致鏡頭組件出現瞬間加熱又瞬間冷卻的幾何畸變，但這些都是工程上的問題，我們做製程的不要去過多的考慮，不要去抱怨機子不如外國人的問題，要是機子和外國人一樣好了，還要我們幹什麼！